这款高能量EUV光源(远紫外光源,极紫外光源,深紫外光源）EUV photons source 原产于欧洲，超级紧凑，易于使用。它有发射头和电源组成，方便移动，可计算机控制工作，发出13.5nm的远紫外光线。

这款EUV光源基于毛细管放电原理，电能转移至流经毛细管的热气,产生热等离子体。 该EUV光源的工作参数可调，适合宽光谱范围使用。

产品应用：
反射测量（掩膜，光学计量），光学树脂测量，荧光光谱，光电发射，辐射，光刻，显微成像等