•X、Y、Z三轴精密测量
　　•Z轴光学式辅助对焦标记，大幅度降低人眼误差
　　•Z轴测量小读数可达0.1um•两种不同的对焦标记可依被测物体不同作任意切换
　　•采用光学非接触式测量高度／深度，不会造成被测物体变形或刮伤
　　•可搭载测量软件，做图像处理及计算　　
　　＊操作非常简单，通过观察对焦标记就可以得到高的测量值
　　＊重复测量：±1um（物镜在40X以上）