1、设备名称和型号
　　1.1设备名称：单槽石英管清洗机
　　1.2设备型号：NXXD-4SH-01A
　　2、设备用途：
　　用于去除石英管表面的氧化层及杂质
　　
　　3、设备概要
　　本设备适用于2″-6″石英管清洗，同时也可以清洗其它能放入清洗槽中的石英器具（石英槽、石英舟、石英台等）。本设备由国内亲自指导设计，采用国际标准生产加工，在超净厂房组装调试，此产品达到国内半导体生产线使用要求。
　　
　　4、设备简介
　　4.1设备整体尺寸：200mm（长）×800mm（宽）×2000mm（高）
　　4.2设备构成：
　　设备骨架用低碳钢制做，外包象牙白色PVC板，美观抗腐蚀。
　　有1个槽体：HF酸槽／DIW冲洗槽。
　　槽的底部都有两个滚动轴，由电机驱动旋转。石英管放在滚动轴上。清洗过程中，石英管按照一定速度转动（速度可设定）。两个滚动轴的间距能够方便调节，以适应不同直径的石英管。槽内有一个喷淋柱伸至石英管内，使药液能喷至石英管内壁，起到清洗石英管内壁的作用。设备还可以对石英槽、石英舟等石英器具进行清洗，清洗时电机可设定待机状态（既电机不转动）。请参见附图。
　　
　　稀氟酸槽配有溢流、循环、过滤、鼓泡功能。通过循环泵、过滤器等组成的过滤系统，对药液循环过滤，能延长药液的使用时间。
　　采用数显时间继电器，清洗时间可在1-9999秒范围内设定
　　排风系统通过设备后部夹层，从设备顶部接触排气管与用户排气系统连接
　　配有照明系统
　　配有前拉门，保证工作间内的工作环境。