产品简介

PR系列白光干涉三维形貌仪是采用日本技术研制开发的高精密测量仪器，该仪器拥有多项国内发明。仪器采用白光干涉原理，测量样品表面微细形状分布。是综合运用光电子技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工技术、数字信号处理技术、应用光学技术、精密控制技术、计算机高速采集和控制技术、高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。为使用者提供高度、高解析度、快速、非接触的三维形貌测量。可以快速测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸至纳米级别。操作方便快捷、应用范围广泛。仪器分高型(PR06系列)和标准型（PR05系列），满足用户不同级别的测量需求。

产品特点

非接触测量避免被测件受损
高速度测量可达97μm/s
高测量垂直解析度0.1nm，水平解析度0.43um
高稳定测量标准台阶重复测量性≤1% @1σ
大面积测量自动缝合的大范围型号可供选择
技术的解析算法
透明膜形状测定功能
友好的人机界面PuruiVision应用软件功能强大
多参数选择可以测量三维形貌、粗糙度等指标
适用范围广可以测量多种类型样品的表面结构
真正意义上的免维护设备
优良的性价比 

应用领域

精密机械加工表面/半导体硅片及设备/MEMS装置表面/磁数据存储设备/先进材料/光电精密制造/金属摩擦学/薄膜陶瓷等表面/聚合物和生物材料/光学器件表面

性能参数表

测量实例