复合镀膜机
价格:电议
地区:辽宁省 沈阳市
电 话:024-23758583
  一、  系统用途:
  设备主要制备单层膜、多层膜和多组份的金属膜、合金膜、氧化物薄膜等。
  二、技术指标:
  1、采用双室结构:一个主溅射室(溅射镀膜室);一个为样品室(样品取放);
  2、溅射室极限真空度:6.7×10-5Pa,系统漏率:1×10-7PaL/S;
  进样室极限真空度:6.7×10-4Pa,系统漏率:1×10-7PaL/S;
  3.台的加温温度为500℃,程序控温;升温、恒温、降温时间可控(降温速率小于自然降温速率);
  4.现自转,转速为:0~50转/分;
  5.样品台可实现升降,手动调节,升降距离为:±10mm;
  6.系统极限真空度为:6.7×10-5Pa;
  7.靶基距:靶表面与样品垂直距离为170mm±20mm,用光轴加直线轴承导向,可手动连续调节,有刻度指示。
  三、系统组成:
  本系统为两室结构的超高真空控溅射镀膜设备,主要由真空抽气及测量系统、溅射室系统、靶及电源系统、样品台系统、样品室系统、样品交接与传递系统、气路系统、电控及计算机控制功能、辅助系统等组成。