蒸发镀膜机
价格:电议
地区:辽宁省 沈阳市
电 话:024-23758583
  一、用途:保密。
  二、技术指标:
  1.蒸镀室极限真空度:5×10-5Pa,系统漏率:1×10-7PaL/S;压升率:停泵关机12小时后真空度小于等于5Pa;
  2.真空腔从大气到2×10-3Pa时间小于3 0分钟;
  3.泄漏小于1×10-7PaL/S;
  4.热蒸发装置为两个蒸发舟,含加热和控温装置,控温要求:±1℃程序可控;
  5.公转架转速(即换位转速)在0~30转/分钟,自转架转速在0-60转/分钟之间程序可调;
  6.在腔体内的工件架必须保证样品的法线方向与铅垂直方向的夹角在15°~45°之间连续可调,在调节杆上作出角度调节标记,以方便调节;
  7.工件架上的样品基片可以通过红外灯进行加热,加热温度从室温到200℃程序可调可控;
  8.基片架中心和蒸发源之间的距离的调节范围为200~300 mm;在调节杆上标注出蒸发源口离样品中心的垂直距离。
  三、主要组成:
  该蒸镀设备主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、工件架系统、热蒸发源系统、E型电子枪及控制电源系统、膜厚测试系统、挡板系统、烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、电控及计算机控制系统、台架系统、辅助系统等组成。