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ADL直流等离子溅射电源
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基本模组从0.5kW到30KW,可并联多个模组输出更高的功率。
输出回路内不会累积打弧能量,降低打弧的机率。
动态打弧抑制电路设计(Dynamic Arc Killer Circuit),自动清除打弧(Arc)。
自动斜率输出模式(Auto Ramp Mode),降低预镀时间。
转换效率90%,可有效省电。
短路自我保护,可避免因负载短路而造成机器损坏。
通讯介面/电源输出/输入接头统一,不同型号的电源可互相支援,降低备品需求。
100%制造,年损坏率小于1%。
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