PSM-1000工业显微镜采用全新的一体化设计,具有优异的光学成像质量,造型新颖,使用方便,并具有丰富的扩展功能,可以广泛应用于冶金、半导体、电子等行业的制造和研究领域。
描述:
人机工程头部
PSM-1000E双目观察头可以在3°-30°转动,调整观察眼点的高度和观察方向,使操作者的使用更加舒适。
管镜
PSM-1000的管镜转盘上装有1X NUV、1X NIR和2X 管镜,三组管镜之间可以根据需要进行切换,切换简单、方便。其中1X NUV对355nm和532nm波长进行了优化,1X NIR对532nm和1064nm波长进行了优化,当使用这3个波长的激光器时,可以得到更好的激光透过率。
光路切换拉杆
通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时,双目头和摄像接口的分光比为0:100,此时从摄像接口上入射的激光100%的进入光路,提高了激光效率;当转换器拉杆往里推时,双目头和摄像接口的分光比为50:50,此时即可用双目头观察,同时也可以在摄像接口上使用CCD摄像头或激光器。
偏光观察
主体上留有偏光插孔,插上偏光附件(选配件),可进行偏光观察。
调焦机构
PSM-1000的调焦机构转动舒适,工作可靠。调焦机构可承载45磅(20.4Kg),确保安装激光器和CCD摄像头后,仍然能够正常工作。
转换器
PSM-1000采用4孔可调中转换器,使用随机配送的调中钥匙,可以很方便地调整物镜的齐中。
物镜
PSM-1000采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜,提供了优异的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO物镜样本。
数码摄像系统
根据所使用的CCD摄像机的CCD尺寸,选择合适的摄像接头,安装在摄像接口上,组成数码摄像系统,就可以在电脑、电视或监视器上同步观察。
照明系统
采用同轴垂直照明系统,光源采用外置冷光源。长达2m的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000带来更自由的操作空间。
探测工作站
PSM-1000的主体部分可以安装在探测工作站上,进行硅片的测试。
激光装置
PSM-1000的摄像接口处装有激光安全定位销,双目头前留有安装激光安全滤色片的位置,并提供补偿垫片。无需专用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全滤色片安装上。
注:在安装和使用激光器之前,请您仔细阅读激光器和激光安全滤色片的使用手册。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全滤色片而产生的安全和性能问题,麦克奥迪实业集团有限公司对此概不负责。
其他说明
PSM-1000主要技术参数 |
目镜 |
WF10X/24, 视场直径Φ 24mm, 独立矫正色差 |
双目头 |
瞳距调节范围55-75mm |
上主体 |
分光比为50: 50或0.100 |
管镜 |
1X NUV/VIS; 1X NIR/VIS; 2X VIS |
转换器 |
4孔, 中心可调 |
物镜 |
长工作距离或超长工作距离; 无限远平场复消色差; 齐焦距离: 95mm; 连接螺纹: M26X1/36" (0.706); 齐焦机构(可选) |
调焦机构 |
调焦行程: 52mm; 粗动手轮4mm/转; 微动手轮0.1mm/转; 微动手轮1μ m/格; 承载重量: 45磅(20.4Kg) |
照明系统 |
同轴垂直照明, 可变孔径光栏(Φ 0.8~Φ 0.6) |
冷光源 |
输入电压:110V或220V; 150W/21V; 卤素灯遥控器(可选) |
移动载物台 |
XY行程: 75X50mm |
人机工程头部 |
转动范围3° ~ 30° |