一、主要用途：保密。
　　二、技术指标：
　　1.谱仪真空好于3×10-3Pa（探测器位置处），漏率小于1×10-7Pa.L/s（真空机组由甲方自行购置，乙方设计，系统气阻尽量小）；
　　2.滤片室、平面镜室、探测器安装组件与瞄准系统整体轴向±4 mm的平移调节与±1°的角度调节，角度调节0.01°；
　　3.瞄准系统靶点瞄准不确定度不大于±1mm，用两个Φ2mm的小孔表示谱仪中心轴线，为保证两小孔的距离不小于1000mm，与谱仪轴线的同轴度好于Φ0.01mm.
　　三、系统组成：
　　真空隔断装置、调节机构、主真空腔体等组成。