微氧分析仪为检验高纯度制程气体中的微量含氧，以确保制程气体的纯度，避免管路泄漏破损渗入大气中的氧气破坏制程品质，增进制程良率，并依各制程对制程气体管路含氧量之要求，进行必要之测试设备。
使用气体感测技术燃料电池式微量氧
感测元件，具准确度高及反应速度快，不需特别
保养等特性。
. 适用于氮气、氢气、氩气等还原性气体中微量氧
的侦测。
. 采用4.3”TFT大萤幕显示，可同时显示含氧量、
日期、时间等参数。
. 于全量程范围内可任意设置警报点上、下限。
. 自动记录随时间的氧浓度变化曲线。
. 输出4~20mA标准信号；标准RS485/RS232(选用)
通讯口，可连结RJ45网路、Bluetooth、MicroSD
及USB与电脑双向通讯。