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气流质量传感器
AWM5000 系列大流量 / 放大
在线测量
AWM5000 系列为文丘里流量管形外壳，可以测量至20 升/
分钟，压降2.25”水的气流。微桥芯片直接与气流接触，大
大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。
坚固，通用的封装形式
坚固，塑料的封装能承受50psi的共模压力，内部的小型传感芯片
能允许100 克的冲击在额定指标下，两个测量孔是单独模件，可
在小的模具花费下根据实际更改，插入式AMP 连接器提供十
分可靠的连接。
内置的信号处理电路
每个AWM5000系列产品都包括含放大` 线性修正` 温度补偿和气
体标定，气体标定通过激光校整得到。
图1 发热器控制电路
图2 传感桥电路和放大线性电路
特点：
● 各种流量接口可选
● 文丘里管设计
● 远程安装
● 激光校整CO2，N2 氩气的标定
流量范围
后缀- 标定气体
推荐供电电源VDC
功耗（mW）
反应时间（mA）
零点输出VDC
零点漂移，VDC
-20~70?C
共模压力psi
温度范围
冲击指标
输出@ 较整点
压差@满量程
满量程输出漂移
+20?~-25?C
+20?~70?C
线性误差
迟滞& 重复性
连接器（4pin
receptacle)
泄漏 max
AWM5101
0-5 SLPM
VA- 氩气（Ar）
Min
8.0
---
---
0.95
---
---
-20~+70?C
100g 峰值，6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向）
5VDC@ 满量程流量
参照压力& 气流表
后缀VA 或VN ± 7.0% 读数，VC ± 10.0% 读数
±3.0% 读数
±0.5% 读数
AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143）
0.1psi/min,在静态中
AWM5102
0-10 SLPM
VC- 二氧化碳（CO2）
Typ
10±0.01
---
---
1.00
±0.050
---
AWM5103
0- 15 SLPM
AWM5104
0-20 SLPM
VN- 氮气（N2）
Max
15
100
60
1.05
±0.200
50
注：1、供电电压除10.00± 0.01VDC 外，不保证标定值。
2、线性误差适用于2-100% 满量程，但不适用0 LPM 时零输出
3、在50psi 内压下，AWM5000系列每分钟泄漏小于0.1psi，如果安装时，相对于流量管的连接
器被扭转，将会破坏O形圈和流量管之间的密封，引起暂时汇漏，可高达1psi，也可能在指标
内，换上新O形圈后，密封恢复，大约85% 的泄漏在24 小时内消除，48 小时内，可完全恢复。
安装尺寸：（仅供参考）
1 脚：＋供电电压
2 脚：接地
3 脚：空置
4 脚：输出电压
流量方向在壳体标出
技术规格
NOMINAL
VALUES
R1• 3.3K
R2• 5.OK
R3• 1.82K
R4• 24.9K
R5• 24.9K
R7• 200K
R8• 32K
R9• 6.0K
R11• 10K
R12• 400K
R13• 3.5K
R14• 5K
R15• 5K
R16• 400K
R17• 400K
R18• 9K
R19• 1K
Ra• 500
Rb• 3.0K
Rc• 1.0K
Rf• 6.0K
Rh• 800
Ru• 1.5K
Rd• 1.5K
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气流质量传感器
AWM5000 系列大流量 / 放大
输出曲线
线性输出线性输出
线性输出VDC 线性输出
推荐型号
AWM5104VN
量程
20SLPM