流量传感器(FS5001系列)
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  FS5000系列专为普通气体的监控而设计。由于我公司的信号跟踪检定能力设计,该传感器可直接测量流体质量。可侦测流速为20 nL/min的流体。传感器可应用于多气流管道的测量、泄漏侦测,HVAC控制,净化空气或氮气监控,环境设备如空气采样机、分析仪器如GC分光仪。
  FS5001可设定为可测满量程为1-1000 sccm(1 SLPM),并可根据客户需求进行定制。该产品可即插即用,具有多种用途。
  
  产品特点:
  −专为流量跟踪测量而设计,测流量可达20nL/min
  −卡口式设计可应用于多气道
  −快速响应时间有利于精密测量的应用
  −在分析设备表现卓越,如:GC分光仪
  −多样化的可调节方式可轻松应用于不同环境
  −内置安全插件可适用于更多的应用中

其他说明

 FS5001单 位
满量程1 to 1000sccm (NmL/min)
工作电压8~18Vdc
输出方式RS232, I2C, 模拟 
输出4.5Vdc
±(1.5+0.2FS)%读数
重复性±0.75%读数
零点飘移0.5Vdc
响应时间50msec
压力0.8MPa
工作温度-20~+70°C
标准校准气体空气 
机械连接O型密封圈