产品执行标准

DIN50987，ISO3497，ASTMB568

测试原理

EDXRF能量色散X荧光光谱法

测量样品

固体、液体、粉末

功能

单镀层和多镀层测厚与元素分析

多可分析6层（不包括基层）

镀液成份分析

高压发生器

输入电压

24VDC±10%

输出电压

0-50kV

输出电流

0-2.0mA

输出

0.01%

X射线管

X射线管靶材

W靶、Rh、Mo、Ag、Cr靶材可选

X射线管窗口

Be窗

电气参数

50W, 4-50kV,0-1000uA

冷却方式

油冷却      

X射线照射方向

从上往下↓

照射范围

Φ0.1mm

使用寿命

h

探测器

探测器类型

硅-PIN半导体探测器

元素分析范围

Al¹³-U⁹²

能量分辨率

FWHM<145eV

探测窗口

铍窗，窗口面积：25mm²

冷却方式

热电制冷

镀层测厚与元素分析指标

元素分析范围

Al¹³-U⁹²

测厚范围

0.005—35 um

层精密度/准确度

相对标准差5%以下（厚度大于0.5um时）

第二层精密度/准确度

相对标准差10%以下（厚度大于0.5um时）

测量时间

10-60s

谱处理系统

处理器类型

全数字化32-bit DSP

谱通道数

256，512，1024，2048可供选择

计数率

大于100000cps

能量范围

500eV-40960eV

死时间

<3%

光路系统和样品观测

准直器系统

单一固定准直器Φ0.1mm

对焦系统

镭射激光对焦

样品观察系统

300万像素高清CCD摄像头，20倍光学变焦

样品室

样品室内部空间

（宽×高×深）：455×60×430mm

样品台尺寸

（宽×深）：250×275mm

样品台承载重量

≤5kg

试验样品尺寸

宽×高×深：440×50×410mm

样品台控制方式

三维程控电动样品台

工作台移动技术数据

X=200±5、Y=200±5、Z=80±5mm

工作台移动

0.005mm

计算机和软件

控制计算机

联想品牌机，2G内存，500G硬盘驱动

显示器

联想19寸LCD显示器

操作系统

WindowsXP

结果

Word、Excel格式

软件

镀层测厚软件、元素分析软件

软件类型

FP基本参数法软件

软件语言

简体中文、繁体中文、英文、其它

谱显示

自动峰定性，KLM标记，谱重迭比较

谱处理

总强度，净强度，背景强度；全面积，净面积，多元素拟合，高斯拟合

资料分析

基本参数，基本谱图，无标样测试，峰位修正，底材修正。

重量和尺寸

设备主体尺寸

宽×高×深：W 503×H635×D790mm

主体重量

约80kg

使用环境

工作环境

温度15-25℃，湿度40-70%RH

电源系统

单相220V±10%，6A.工作电压在允许范围内

其它

1.不要靠近产生强磁场，电场，高频等装置；2.减少振动3. 粉尘少，湿度低，无腐蚀性气体；4. 日光不能直射；5. 作为地震的对策，要考虑装置的固定。