用深冷法从空气合成氨尾气中提取的气态和液态纯氩，所含的杂质主要有氧、氮、氢、二氧化碳、水和有机气体。采用的纯化方法有吸附法、催化反应法、金属吸气法。下表中给出氩气的纯化方法、纯化效果和适用范围。
　　
　　氦气的纯化：氦气是以天然气为原料，采取分离提纯法制得。另一种是以空气为原料，对空气加压降温液化，经过分离、精馏和提纯制得。用空气分离装置制备的氦气，其纯度约为25％，其余为氖报导。用液氖冷凝法制取纯度为99％的粗氦，经过常压液氮为冷源的低温吸附器净化后，再经负压液氢为冷源的低温固化分离器进一步净化，从而可获得99.999％-99.99999％的高纯氦气。国家标准GB／T4844.3《高纯氦》要求高纯氦必须达到下表规定的技术指标。