试验级别用去离子水
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  去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为:“去离子水完全或不完全地去除离子物质,主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。在半导体行业中,去离子水被称为“超纯水”或是“高纯水”。
  去离子水分类
  通常去离子水可以分为4类:
  A类:去离子水只要求将水中离子去除一大部分,使水得以净化,种类去离子水电导率通常在200-10μs;
  B类:去离子水电导率通常在1-10μs,属于食品级别;
  C类:去离子水电导率通常在0.1-0.9μs,属于精细工业级别;
  D类:去离子水电导率通常在0.07μs以上,属于电子级别。