钛泵-广州保达钛泵性能：
　　
　　（1）极限压强：10-8帕
　　（2）抽速：
　　钛泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关，磁场强时抽速也大，对应抽速的阳极电压也高。常用钛泵的抽速有25升／秒、5升／秒。对于需要大抽速的场合，可用基本结构单元并联的方式使抽速达到50升／秒、100升／秒等。
　　（3）启动压强：10-2帕
　　
　　（4）寿命：
　　a、阴极耗尽寿命
　　阴极钛板因溅射穿通而使泵无法使用。
　　b、阳极剥落寿命
　　阳极内沉积钛膜的厚度太大时会产生剥落，导致泵内压强的不规则强烈变化，使泵无法使用。
　　c、阳极吸饱寿命
　　阳极上吸附和溶解了大量的氦气、氢气，当达到饱和状态时泵不能再吸附气体。
　　在正常使用情况下，溅射离子泵的寿命可达几万小时。