一、真空抽气部分
　　莱宝粗抽泵＋CTI 10 ON BOARD 冷凝泵
　　二、真空检测
　　INFICON：BPG400真空规
　　三、蒸发系统控制及膜厚检测
　　1、蒸发控制器：运行＋设定
　　2、触摸屏和电位器分别控制
　　3、电压、电流显示
　　4、晶控仪：控制蒸发电流大小，控制蒸发速率，显示厚度；MDC360或SYSCON 2000
　　四、气体控制
　　2路质量流量控制器MKS1179A
　　五、使用领域
　　1、半导体：金属化
　　2、TFT：金属导线
　　3、微结构：金属化
　　六、设备特点
　　1、高配置
　　2、高
　　3、高品质