AME-8100等离子体刻蚀机用于反应离子蚀刻氧化物，氮化物。可针对4"，5"或6"晶圆。
　　等离子体刻蚀机用于反应离子蚀刻氧化物，氮化物。可针对4"，5"或6"晶圆。
　　设备描述：
　　1、真空系统：爱德华干泵＋CTI冷凝泵＋LEYBOLD分子泵
　　2、真空检测：TC guage＋ION gauge＋MKS薄膜压力规
　　3、过程检测：激光薄膜厚度检测
　　4、工作气体：5路工作气体＋环行布气系统
　　5、工件尺寸：4寸-6寸，可改进到更大尺寸。如4寸，可装载24片
　　6、工作电源：射频功率源＋匹配箱
　　7、控制系统：全自动工艺流程，高集成控制系统
　　8、安全保护：全面考虑安全因素，人性话设计。