特点:
* 可垂直上下移动
* 特殊恒定负载的弹簧探针
* 恒定的探针间距
* 可保持极大程度的重复性测试
* 探头方便更换
* 探针台顶部可调整Z轴移动
* 稳固的连接线在探针台后面
* 转接头可选择:Banana/BNC/Triaxial Female
* 卡盘可快速移动
* 可以配合加热吸盘使用
* 卡盘尺寸可以选择:6英寸、8英寸、12英寸
* 气动的SR-4可用开关控制升降
应用:
* 表面电阻率测试
* 薄膜切片电阻率测试
* 半导体掺杂特性的测试
* 金属层厚度的测试
* 测试半导体类型:P型/N型
* 电压/电流的测试
详细说明:
* 卡盘尺寸可选择:6英寸、8英寸、12英寸;材料;特氟龙
* 探针升降长度:10毫米
* 探针台Z轴升降为:1微米
* 探针材质:碳化钨、铍铜合金
* 探针距离:40mil、50mil、62.5mil
* 弹簧探针力度:45grams、85grams、180grams
* 探针直径:40.6微米
规格:
* 尺寸:220mm长x420mm宽x250mm高
* 重量:20Kg