手动硅片清洗设备特点：
　　可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。
　　功能槽包括：加热酸缸、HF腐蚀、BHF（HF恒温缓冲腐蚀）、超声清洗槽、恒温水浴、QDR（快排冲水）、电炉等。　
　　清洗功能槽模块化，各部分有独立的控制单元，可随意组合。
　　关键件采用进口部件，提高设备的可靠性及使用寿命。
　　采用进口耐腐蚀PP板材，防酸、防腐，有效避免酸液的侵蚀。
　　控制系统的元器件具备防腐、防潮功能，确保安全的工作环境。
　　结构紧凑，净化占地面积小，造型美观、实用。
　　操作符合人机工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、灵活。
　　闭式清洗，有效改善工作环境，保障操作人员安全。