产品
　　NCS-R80无接触厚度电阻率测试仪是一款用于硅片的厚度、电阻率测量的仪器，该仪器适用于Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料，所有的设计都符合ASTM（美国材料实验协会）和Semi标准，确保与其他工艺仪器的兼容与统一。
　　
　　特征
　　■无接触无损伤测量
　　■电阻率和厚度同时测量
　　■适用的晶圆材料包括Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料
　　■电脑触摸屏显示
　　■抗干扰强，稳定性好
　　■强大的工控机控制和大屏幕显示
　　■一体化设计操作更方便，系统稳定
　　■为晶圆硅片关键生产工艺提供的无接触测量
　　
　　技术指标
　　■测试尺寸：50mm-300mm.
　　■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um
　　■厚度测试：＋/-0.25um
　　■厚度重复性：0.050um
　　■TTV 测试：＋/-0.05um
　　■TTV重复性：0.050um
　　■电阻率测试范围：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
　　■电阻率测试：＋/-2%
　　■电阻率测量重复：＋/-1%
　　■晶圆硅片导电型号：P 或 N型
　　■材料：Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有半导体材料
　　■可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等
　　■平面/缺口：所有的半导体标准平面或缺口
　　■硅片安装：裸片，蓝宝石/石英基底，黏胶带
　　■连续5点测量