产品
HS-TRM-100型无接触式电阻率型号测试仪是基于涡流(Eddy Current)测试技术,能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。
无接触式电阻率型号测试仪-产品特点
■测试范围广,低阻可测至0.001ohm.cm,甚至0.0007ohm.cm,高阻可测至100ohm.cm
■产品体积小,便于移动和携带
■采用涡流法测试硅锭、棒、回炉料体电阻率
■无接触、无损伤快速测试
■测试前无需表面处理
■特别对于多晶,能够有效避免晶界对测试的影响
■测试范围:0.001-100 ohm.cm(分段测试)
■可选加无接触PN型号测试功能
■可进行温度和厚度的修正
无接触式电阻率型号测试仪-技术指标
■硅棒硅块可测量电阻率范围:0.001-100Ohm.cm
■小测试厚度:200μm
■测量时间:2秒/次
■小测试面积:30x30 mm
■推荐使用温度:20℃
■湿度:≤80%
■气压:86-106kPa
■使用电压:230±10V
■频率,50±3Hz
■功率消耗:≤5W
■尺寸(LxWxH):280x200x60mm