技术参数：
　　
　　主要规格规格描述
　　X射线激发系统垂直上照式X射线光学系统
　　空冷式微聚焦型X射线管，Be窗
　　标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等
　　功率：50W（4-50kV，0-1.0mA）－标准
　　75W（4-50kV，0-1.5mA）－任选
　　装备有安全防射线光闸
　　二次X射线滤光片：3个位置程控交换，多种材质、多种厚度的二次滤光片任选
　　准直器程控交换系统多可同时装配6种规格的准直器
　　多种规格尺寸准直器任选：
　　－圆形，如4、6、8、12、20　mil等
　　－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
　　
　　测量斑点尺寸在12.7mm聚焦距离时，小测量斑点尺寸为：0.078　x　0.055　mm（使用0.025　x　0.05　mm准直器）
　　在12.7mm聚焦距离时，测量斑点尺寸为：0.38　x　0.42　mm（使用0.3mm准直器）
　　样品室　CMI900　CMI950
　　－样品室结构开槽式样品室开闭式样品室
　　－样品台尺寸　610mm　x　610mm　300mm　x　300mm
　　－XY轴程控移动范围标准：152.4　x　177.8mm
　　还有5种规格任选　300mm　x　300mm
　　－Z轴程控移动高度　43.18mm　XYZ程控时，152.4mm
　　XY轴手动时，269.2mm
　　－XYZ三轴控制方式多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、XYZ三轴手动控制
　　－样品观察系统高分辨彩色CCD观察系统，标准放大倍数为30倍。50倍和100倍观察系统任选。
　　激光自动对焦功能
　　可变焦距控制功能和固定焦距控制功能
　　计算机系统配置　IBM计算机
　　惠普或爱普生彩色喷墨打印机
　　分析应用软件操作系统：Windows2000中文平台
　　分析软件包：SmartLink　FP软件包