Low-E玻璃（磁控溅射镀膜配套设备）真空泵详细信息

一、滑阀式真空泵  制造商：浙江锃光真空设备有限公司

型号：H-150滑阀真空泵

主要参数

极限真空： 1 pa（帕）            抽气速率 ：150L/s（升/秒）

电机功率: 15kw（千瓦）           进气口径：150mm（毫米）

排气口径 ：80mm（毫米）            

产品特点及应用范围

1、真空度高，H系列滑阀真空泵，真空度为1Pa

2、振动少，噪声低，轴承密封室单独供油，与泵腔隔开，避免了杂质进入轴承、密封过早损坏;

3、适用于抽吸空气及其他一般性气体，当使用气镇时，亦能抽吸含有掌上少量的可凝性气体（如水蒸汽）。

4、可单独使用，也可作为扩散泵、油增压泵、罗茨泵等高真空泵的前级泵，相对于旋片式真空泵。

5、该型滑阀泵经久耐用，使用寿命长。

6、该泵在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、人造石，分子蒸馏、航空模拟试验使用较多; 可应用于镀膜、电工、无尾真空机、电子、冶金、化工、陶瓷、航空、单晶硅、单晶炉、实验室等多种场合。

二、罗茨真空泵

1、型号:ZJP-300罗茨真空泵

主要参数

极限真空：5*10^-2 pa（帕）            抽气速率 ：300L/s（升/秒）

电机功率: 4kw（千瓦）               进气口径：150mm（毫米）

排气口径 ：150mm（毫米）   制造商：浙江锃光真空设备有限公司

2、型号:ZJP-600罗茨真空泵

主要参数

极限真空：5*10^-2 pa（帕）              抽气速率 ：600L/s（升/秒）

电机功率: 7.5kw（千瓦）                进气口径：200mm（毫米）

排气口径 ：200mm（毫米）

3、型号:ZJP-1200罗茨真空泵

主要参数

极限真空：5*10^-2 pa（帕）              抽气速率 ：1200L/s（升/秒）

电机功率: 11kw（千瓦）                进气口径：250mm（毫米）

排气口径 ：200mm（毫米）

产品特点及应用范围: 

因转子采用高专用数控机床加工，并作精细平衡校验，具备良好的几何对称性，转子啮合间隙均匀。泵体、侧盖采用专用机床加工，高。因此本公司罗茨真空泵运转平稳、噪声低、振小、极限真空度高。被广泛使用于真空浇铸、真空熔炼、真空脱气、真空镀膜行业及化工医药行业的真空蒸馏、真空干燥等。

●因泵的传动部件采用可靠的消隙结构，故泵可高压差下长期工作。

●起动快，能在短时间内达到极限真空。

●因泵腔内无互相滑动的零件，无需用油润滑，避免了油蒸汽对系统的污染。

●安全可靠，ZJP系列本身配带溢流阀起自动保护作用。

●结构紧凑，占地面积小。左、右、下面三个排气口可以任选一个，方便用户安装。