工作原理：
　　热式质量流量计由一个陶瓷半导体传感器，温度传感器以及控制装置组成。陶瓷半导体传感器具有随着周围温度的变化将自身的阻抗能动变化的特性。如果流体的流速发生变化，周围温度随之发生变化，陶瓷半导体传感器自身的阻抗将变化。利用这种特性测量流体的流速和流量。为了补偿流体随温度的变化热式质量流量计还设有了温度补偿传感器。陶瓷半导体传感器对于流体的非线性特性的反映，需要由内藏的微处理器进行数据处理。

　　性能参数：
　　：
　　10　～100％校准范围内读数的±2％
　　在校准范围的10％之内，满量程的±0.5％　
　　在50sfpm（标准英尺／分钟，即0.25nm／s）之内，满量程的±2％　
　　重复
　　满量程的±0.2％
　　压力系数
　　±50psig（3.4barg）之内可以忽略。
　　高压需要专门校准
　　响应时间
　　1秒达到后速度值的63％
　　温度系数
　　±50℉之内由用户指定条件，每℉读数的±0.02％
　　±50℉～100℉之内由用户指定条件，每℉读数的±0.03％
　　±25℃之内由用户指定条件，每℃读数的±0.04％
　　±25℃～50℃之内由用户指定条件，每℃读数的±0.06％

　　物理特性：
　　浸湿材料
　　探针：316L不锈钢，传感器：陶瓷
　　外壳防护等级
　　危险区域（IP67），NEMA　4X（IP65）均为镀塑铸铝
　　连接
　　两个3／4英寸NPT　危险区域（IP67）
　　一个1／2英寸NPT　NEMA　4X（IP65）
　　安装方式（可选）
　　ANSI　1英寸150磅的法兰
　　带有1／2英寸NPT公螺纹的1／2英寸管套
　　证书
　　EEx　Cenelec
　　FM
　　获得UKAS的ISO9001
　　工作特性（Ⅰ）
　　气体
　　适合于316L不锈钢的大多数气体
　　质量流量范围　
　　以空气和氮气为准，小值界于0～200sfpm（0～1nm／s），值界于0～6000sfpm（0～30nm／s）
　　气体压力
　　介质压力：值500psig（20barg）
　　1英寸150lb法兰（15℉～176℉）：值185psig（12。8barg）
　　低压热螺栓：值100psig（7barg）
　　高压热螺栓：值　286psig（20barg）
　　压力损失
　　管道直径为3英寸或大于3英寸时可以忽略
　　气体和环境温度
　　气体---15℉～176℉（-10℃～80℃）
　　可选择项-15℉～250℉（-26℃～120℃）
　　需要更高温度，请咨询厂商
　　环境----5℉～120℉（-20℃～50℃）
　　泄漏
　　1X10-4　atm　cc／sec氦值
　　电源要求
　　22～28VDC（通常），值625mA
　　输出信号
　　线性0～10VDC，1000Ω小负载或　线性4～20mA相应的质量流量
　　报警
　　硬触点，用户可调整高低报警值
　　继电器容量------值：24VDC–1.25A
　　100VAC–0.5A
　　显示
　　文字数字2X16位背光液晶
　　全量程（50％～100％）
　　响应时间（1～7秒）
　　校正参数设置（0.5～5）
　　零点调整
　　高低报警设置
　　累计器
　　8位数字（9，999，999。9）
　　可通过面板上的按键开关和磁开关进行软件设置。