性能规格
　　：
　　±1％满度，在15ºC到25ºC，及10到60psia（0.7到4bara）范围内；±2％满度，在0ºC到50ºC，及5到150psia（0.3到10bara）范围内；在特殊温度和压力下，为±1％满度，（专门标定）。
　　对于840系列产品，上述准确度分别为1.5％、±3％和±1.5％。
　　如仪表垂直安装，见下表：
　　工作压力
　　入口压力偏差 50psig 100psig 150psig
　　±1psig±1%满度±1％满度±1％满度
　　±5psig±2.5％满度±3％满度±3.5％满度
　　±10psig±4％满度±5％满度±6％满度
　　
　　重复性：
　　±0.15％满度。
　　±0.5％满度840（NPT）。
　　温度系数：
　　0.027％满度每ºF（0.05%满度每ºC），或更好。
　　压力系数：
　　0.01％满度每psi（0.15%满度每bar），或更好。
　　响应时间（1）：
　　830（全部）……300毫秒时间常数；在满度的20到100％范围内为2秒到设定点的±2％。
　　840（低、中流量）……300毫秒时间常数；在满度的20到100％范围内为2秒到设定点的±2％。
　　840（高流量）……600毫秒时间常数；在满度的20到100％范围内为4秒到设定点的±2％。
　　840（NPT）……800毫秒时间常数；在满度的20到100％范围内为4秒到设定点的±5％。
　　
　　注：（1）840系列低、中、高流量流体，可选1.5秒时间常数，如选其他时间常数，需特殊订购。
　　
　　操作规格
　　气体：
　　所有清洁气体；订货时具体指出。
　　质量流量：
　　0~10sccm到0~5600slpm；规定的流量是760毫米汞柱、21摄氏度（70华氏度）条件下的氮气相应流量；也可提供以其它单位（即：scfh或nm3/hr）表示的流量范围。
　　气体压力：
　　1000psig（68.9barg），仅低流量流体；
　　500psig（34barg），30psig（2barg）。
　　气体＆环境温度：
　　32ºF到122ºF（0ºC到50℃）；要求较高温度，订货时需特殊指出。
　　防渗漏功能：
　　为5×10-9ATM CC/sec（氦气）。
　　
　　物理规格
　　材料：
　　830（所有）……316不锈钢，标准“O”形橡胶密封圈（Viton“O”-rings）；氯丁橡胶和4079Kal-Rez；需用其他介质，订货时特殊指出。
　　840（低、中、高）……316不锈钢，430F不锈钢，标准“O”形橡胶密封圈（Viton“O”-rings）和阀门插头；如订货时特殊指出，也可提供氯丁橡胶，4079Kal-Rez和其他弹性体；提供PFA Teflon阀门插头。
　　840（NPT）……316不锈钢，Teflon阀座，标准“O”形橡胶密封圈（Viton“O”-rings）；氯丁橡胶和4079Kal-Rez；需其他弹性体，订货时应特别指出控制阀。