n 产品介绍

μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间内(约几秒)量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。

NanoFocus μsurf solar太阳能电池3D显微镜，可以对太阳能电池片进行自动化测量，广泛适用于单晶、多晶和薄膜太阳能电池片，一分钟内可以自动测量12个区域，是质量检验和生产控制中的有效的光学三维表面测量和分析工具。可以进行太阳能电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度、比表面积，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析，以及减反射层腐蚀表面的测量，薄膜小孔的检测和自动分析。

作为太阳能行业必要设备，μsurf solar太阳能电池3D显微镜从硬件到软件均是针对太阳能行业定制开发出来的，其测量样品的平台带有真空吸盘，可以承受210mmX210mm的样品，能确保太阳能电池片移动时不破坏。适用μsurf solar有利于控制生产工艺,提高效率,是质量的可靠保证。

n 技术参数

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

测量时间：2~10秒

测量原理：非接触、共聚焦

X/Y方向：平台移动范围200mmX200mm，马达驱动，移动速度40 mm/s，X/Y方向分辨率：0.3μm

Z方向测量范围：500μm，Z方向分辨率：1nm

物镜：10X、20X、50X、100X(可选)

离轴摄像头(10X)，视野8 x 6 mm2(选配)

计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且附带全面解决方案的自动化软件

工作电源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA

材质：钢铁、橡胶、大理石

洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)