FC-R7700系列质量流量控制器，采用橡胶密封材质，适用于常规无腐蚀性气体范围、产品具有高、
　　高速应答、重复性好等特点，具有很高的性价比。产品广泛使用在半导体液晶产业用真空装置数据
　　存储装置工业镀膜实验室仪器大气环境监测等行业，在CVD、PVD、离子扩散、溅射、燃烧、光纤镀膜、表面处理和其他镀膜工艺中有大量使用先例并广受好评。
　　特点
　　◆低成本
　　针对非腐蚀性气体和泄漏率要求不高的场合、保证了产品高性能同时，具有很好性价比。
　　◆替换方便
　　采用业界通用的通信方式，很容易对其他厂家的产品进行替换，从而实现提高性能和稳定性的目的。
　　◆高信赖和可靠性
　　的统性前世上有大约在行中的产品其年目界4万只运中的产品，其一年内的返修率不到0.5%，广受客户赞誉
　　技术参数　

其他说明

性能指标	FC-R7700CD/FC-R7700D系列	FC-R7710CD/FC-R7710D系列	FC-R7720CD/FC-R7720D系列
满量程范围	10Sccm-5Slm	N/O:6-20slm* N/C:6-50slm**	35-200Slm
响应时间	满流量的±2%范围内,小于2秒		满流量的±2%范围内,小于3秒
	≤±1%满量程	≤±2%满量程
线性镀	≤满量程±0 5%	≤满量程±0 5% #1	≤满量程±1%
重复性	≤满量程±0.2%
泄漏率	1X10E-7 Pa.m ³/sec
控制范围	满流量的2%-5%  #2
压差	49Kpa-275Kpa	69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa	147Kpa-275Kpa
正常工作压 力	490Kpa
进气压力	980Kpa
温度范围	5-45℃(41-113℉)
输入电源	+15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA		+15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA
功率	3.1W max		3.5W max
输入信号	0-5 VDC
输出型号	0-5 VDC
控制阀形式	常开或常闭电磁阀
密封件	氟橡胶
材质	316L,316,PTFE,不锈钢(氟橡胶,氯丁橡胶)
标准接口	1/4"VCR和Swagelok兼容		3/8"VCR,1/4"VCR
重量	1.0KG		2.7KG