VS系列全自动氦质谱检漏仪是一款精良的宽量程氦质谱检漏仪，它含有涡轮分子高真空泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作员界面，以及可选功能组件。VS　MR15x　和　VS　MD30x型号检漏仪可选用双轮车。所有检漏仪型号都适用于　100/115　VAC　和　230　VAC
　　
　　应用领域：
　　
　　VS系列全自动氦质谱检漏仪应用于工业真空炉、镀膜系统、电子束焊接设备；电厂冷凝器、热交换器、蒸汽管线、地下冲压电缆；高能物理同步加速器、束线、同步辐射光源；电子扫描显微镜、半导体加工、薄膜制备、质谱分析、真空电子管、激光加工等领域。
　　
　　特点：
　　
　　※多种语言和计量单位选择，可选中文界面
　　※135o电离偏转（自然聚焦点）的全新质谱技术，金属密封结构
　　※新的电子线路及信号处理设计
　　※小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
　　※快速清氦和快速响应
　　※测试口耐压高，可实现大漏检漏　

其他说明

性能指标	PR02/PD03	MR15和MD30
性能	前级泵内置式	前级泵外置式及小车
前级泵油式机械泵	DS-42,2 m3/hr (34 l/m)	DS-302,14 m3/hr (232 l/m)
涡卷式干泵	干泵-2 m3/hr (34 l/m)	TS-620 30 m3/hr (500 l/m)
小可检漏率在1000ppm的氦气背景下	5*10 -12 atm cc/sec;5*10 -12 mbar l/s;5*10 -13 Pa m3/sec ,氦气
测试口耐压	13 mbar,10 Torr,1330 Pa
测试口处对氦气抽速	1.8 l/s
校准	自动或手动(内置或外置)
氦本底清零	按键清零,并具有零点追踪功能
操作界面	高清晰彩显,TFT触摸屏
语言选择	中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语
循环检测	可编程粗抽时间/测试时间,设置报废点
响应时间	<0.5秒
设定点	标准;5个设定点;常开或常闭;3个漏率点;1个压强点;1个声讯点
通讯协议	RS-232 通讯接口,9600波特率(9芯串口)
执行标准	UL,CE,CSA
无限远程控制(选件)	2.4GHz ISM, 100m(328ft), 4AA电池/5VDC电源