n 产品介绍

μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。

NanoFocus μsurf mobile移动式3D测量系统，适用于对大型样品的测量，所以可以在很多恶劣的环境下进行使用，并且不会影响到使用寿命。当人们还在为测量物体太过于庞大而一筹莫展时，μsurf mobile移动式3D测量系统的横空出世彻底解决了人们的这个困惑，该机台不需要移动庞大的被测物体，只需要带着便捷的μsurf mobile，放在被测物体上，就可以在短时间内得出的三维表面形貌。

n 应用

μsurf系列用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。μsurf mobile主要对大型样品进行测试，在以下几个行业中被众多企业广泛使用：

ü 汽车行业

ü 印刷和造纸行业

ü 钢铁行业

n 技术参数

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

测量时间：5~10秒

测量原理：非接触、共聚焦、可移动，可以检测大型的物体

X/Y方向移动范围：50mmX50mm，马达驱动，X/Y方向分辨率：0.3μm

Z方向移动范围：35mm

Z方向测量范围：250μm，Z方向分辨率：< 10nm

物镜：10X、20X、50X、100X(可选)

计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且全面的软件，有拼接功能

工作电源：90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W（也可用电池做电源）

材质：钢铁、橡胶、大理石

外型尺寸：380*110*115mm

重量：5.5KG（不含防震拉杆箱）

洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)