离子减薄仪是由华中科技大学材料科学与工程学院专为透射电子显微镜（TEM）研制的样品制备设备。该设备主要适用于金属、陶瓷及半导体等固体材料的TEM样品的减薄与抛光。

　　该设备由小角度样品旋转系统（Small incidence angle specimen rotation system，SIASRS）（）、高真空系统（High vacuum system，HVS），高压电源系统（High voltage power system，HVS）、气动快速换样系统（Pneumatic rapid specimen exchanger）（）以及高能聚焦离子枪等主要部分组成。