等离子清洗机
　　DIENER 等离子清洗机
　　
　　Femto PCCE 创新触摸屏
　　适用制程研发,清洁,活化,蚀刻
　　外型尺寸:W 562 m,H 211 m,D 420 m
　　反应室尺寸:Ø100 m,L 280 m
　　气体供应:流量控制型;双气体通道
　　射频发生器:40kHz/100 W,可调变输出功率
　　真空泵:Leybold,Type S1.5(1.5m3/h)
　　控制方式:电脑控制
　　
　　苏州和谐电子技术有限公司