电镜清洗机
　　电镜等离子清洗机
　　FEMTO PLASMA CLEANER[Electron Microscopy]
　　功能：主要用于除去透射电镜样品及样品杆上的污染，防止碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。特别适用于场发射扫描电镜和场发射透射电镜。
　　外型尺寸:W 345mm,H 220 mm,D420 mm
　　反应室尺寸:Ø80 mm,L270 mm
　　气体供应:流量控制型
　　射频发生器:40kHz/100 W
　　真空泵:Leybold,Type S1.5(1.5m3/h)
　　控制方式:PCCE控制
　　附件：TEM 专用舱门
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