氩气纯化循环设备

　　一、原理说明：　
　　氩气是大规模工业生产单晶硅，手套箱的保护气，它的要求之高，是控制经营成本必须重视的一个重要方面。

　　将排出含有杂质的氩气，除去固体杂质，经缓冲罐进入氩气压缩机升压，，经氩气纯化设备。采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂，在一定温度下，吸气剂可于氩气中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体，从而达到对氩气精制的目的。后将净化后的氩气送入使用地点。

　　二、设备构成：
　　1、过滤器
　　2、压缩机
　　3、氩气纯化
　　6、电气控制箱　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　三、技术保障措施；
　　1、组合式过滤工艺，分级处理。
　　2、氩气纯化采用特殊结构和装料方法，流速设计合理，气流分布均匀。
　　3、氩气纯化采用特殊设计的加热构造，加热均匀、稳定。
　　4、采用优质管件，阀门，避免管道和阀门影响气体质量。
　　5、采用优质的电器元件和控制仪表，保证温度稳定，减少温度和影响。
　　6、氩气纯化的活化程序，严格按照活化程序执行，根据现场实际情况适当调整。
　　7、对用户的操作员进行设备操作培训，了解设备工作原理，掌握设备操作方法，熟悉设备的开车、停车、停电、停水处理方法。