AZQ／FC　　　　　　　　　　　　　　
　　本装置工艺流程，有液氨瓶送来的氨经过进氨阀F1，F2进入汽化器（1），汽化器内装有电加热元件，电加热元件对汽化器内的水加热，一般水温控制在45-60℃，液氨在汽化器内得到温水传过来的热量。汽化成气态氨，一般汽化后的氨压力控制在0.4-0.5MPa，氨气经减压阀减压后，压力调到0.05MPa左右。经过降压后的氨气由耐腐流量计量，从流量计流出的氨气在热交换器中进行热量交换，使氨气温度升高，由分解炉出来的高温混合气被降温，经升温后的氨气进入分解炉进行分解成氢氮混合气，高温混合气进入热交换器，水冷却器降温，然后送到使用地点。如果需要纯度较高的氢氮混合气。　
　　
　　复式流程，用两只吸附干燥器并联，一只工作，同时另一只可以进行再生处理。相互交替工作和再生，以保证设备连续运行。干燥器在常温下工作，在加温至350℃下冲气再生。
　　分解后混合气体通过阀F14进入1组干燥器，利用分子筛对NH3和H2O的共吸附性可以同时吸附残氨和水份，然后气体经阀F12，由纯气出口送使用地点。取一部分纯气通过阀F20和再生流量计，再经阀F11送入2组干燥器，进行加热冲洗再生，再生废气经阀F17后，通过气水分离器放空。
　　
　　DYC-1　　　　　
　　原氮经原气阀，氮流量计，除氧器，氢气经加氢阀　，加氢流量计计量与氮气混合，进行催化除氧。再经冷却器降温，用冷却水使气体降温，进入汽水分离器，分离水份。再经冷凝器，用冷冻水使气体深度干燥，经汽水分离器分离水份。
　　
　　此时气体可以分别经阀门，进入1组吸附干燥器或2组吸附干燥器吸附干燥，然后经阀门，再经过滤器，纯氮由纯氮出口阀门13送使用地点。
　　
　　该复式流程，在一只吸附干燥器工作的同时，另一只吸附干燥器可以进行再生处理，再生用气取部分干燥纯氮，通过阀门，再生流量计，阀门送1组吸附干燥器或2组吸附干燥器，加热再生吸附剂，再生废气经阀门进入汽水分离器放空，水份经阀门排出。
　　
　　DYC-111、高效吸附剂和高效过滤器除去氮气中的杂质氧、水汽和尘埃等。本装置采用复式流程，一组工作，同时另一组再生、待用。两组交替使用，设备可以长期连续运行。
　　
　　复式流程，每一组由除氧器、冷却水、干燥器串联组成，可以一组工作，同时另一组可以进行再生处理，相互交替工作和再生，以保证设备连续运行。
　　
　　1组工作时，原料氮气级阀，过原气流量计，经阀进入1组除氧器，利用脱氧剂除氧，经1组冷却器冷却后，进入　1组干燥器，利用分子筛吸附性可以同时除去水份等杂质，然后气体经阀和过滤器，再经阀，由纯气出口送入使用点。
　　
　　2组再生时，取一部分纯氮气通过再生流量计，阀，同时打开加氢阀，纯氢通过加氢流量计与氮气混合后，经阀送入2组干燥器，进行加热冲洗再生，再生气经2组冷却器冷却，进入2组除氧器，利用氢气对除氧器进行再生处理，再生气经阀放空。