潘宁规（真空计）
　　成都道和电工研究所研发的真空潘宁规提供了可靠的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴极板和高电压降低，潘宁规也可以应用在阴极溅射镀膜工艺上。
　　
　　特点：
　　
　　＞测量范围广：5 X 10-7～1 Pa
　　
　　＞全金属冷阴极陶瓷传感器
　　
　　＞新型几何电极提供了极好的点火性能
　　
　　＞降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样
　　
　　＞阳极环和钛阴极可清洗，更换容易
　　
　　＞小磁场强度测量
　　
　　＞LED指示灯电源和等离子点火
　　
　　＞对数模拟输出信号
　　
　　＞Fieldbus总线接口，集成到真空系统的网络通信