隔膜压缩机
　　靠隔膜在气缸中作往复运动来压缩和输送气体的往复压缩机。隔膜沿周边由两限制板夹紧并组成气缸，隔膜由液压驱动在气缸内往复运动，从而实现对气体的压缩和输送。具有压缩比大，压力范围广，密封性好的特点。由于它的气腔不需要任何润滑，从而保证了压缩气体的纯度，特别适用于易燃易爆，有毒有害，高纯度气体的压缩，输送和装瓶。（如氢气，氧气，乙炔，氩气，氮气，二氧化碳，六氟化硫等）。根据排气压力的不同，一般制成为单级或两级的。
　　进气压力：0-15MPa　排气压力：0.5-40MPa　流量：5-1000Nm3/h
　　
　　隔膜压缩机工作原理：
　　隔膜式压缩机是两个系统的结合——液压油系统和气体压缩系统。金属膜片将两个部分完全隔离开气体压缩体系：气体压缩系统包括三层金属膜片和气体进口和出口阀。
　　
　　液压油系统：液压油系统包括一个由电机驱动的曲轴、活塞和连杆，通过活塞往复运动，产生液压油压力，推动底层膜片向气体侧运动，从而压缩气体，将气体排出。液压系统的另一个组件是补偿油泵、止回阀和压力调节阀，保证液压油系统在压缩循环过程中一直处于充满液压油状态。在压缩过程中，止回阀将液压油和补偿油泵隔离开，防止液压油回流，同时压力调节阀控制液压油压力，从而形成液压油系统的压力
　　
　　1）当活塞处于底部时，液压系统被补偿油泵注入液压油，气体在入口压力下通过入口进气阀进入膜腔，把膜片推动到膜腔的底部。膜腔被充满气体，当曲轴旋转，活塞从底部向顶部移动，液压油系统压力升高，当液压油压力达到压缩气体压力时，膜片向腔体的顶部移动，压缩气体。
　　2）当膜腔内的气体压力达到排气阀背压时，排气阀打开，气体排出，液压系统压力继续增加，膜片继续向顶部移动，确保限度地气体排量和效率，当膜片已经完全地进入腔体顶部，活塞继续运动到顶部，此时，通过液压油压力打开液压油压力控制阀，液压油返回曲轴箱，液压油调节阀的设定压力比出口压力高（通常为出口压力的1.2倍），因此可保证气体的出口压力达到设计值，此时，压缩循环完成，活塞开始向底部移动。
　　3）当活塞向底部移动时，余隙气体和吸入气体推动膜片组朝向腔体的底部运行，整个循环完成。