1.机械：
　　（1）重工稳定的台式基地。
　　（2），8英寸晶圆热夹头夹头，温度室温至200度
　　（3）真空开关来控制每个真空环
　　（4）8"×　8"旅游XY工作台驱动与大旋钮
　　（5）查上下按钮控制，Z轴行程：5毫米
　　（6）。U形压板与支持6分和20毫米罚款的上下调整
　　（7）。电梯上下压板快速杠杆
　　（8）快速，方便装载/卸载的样本Y载物台拉
　　
　　2.变焦：
　　*立体声变焦显微镜：
　　*目镜30X，1〜6.5X变焦，总放大倍数：30〜195X
　　
　　3.微定位：
　　AH-　08微定位：
　　*基本类型：真空基地，磁场反向基地，磁性底座
　　*操作方式：左手，右手
　　*-->　X　-　Y　-　Z行程：12毫米×　12毫米×　12毫米
　　*-->丝杠驱动
　　*每英寸100个线程（TPI），0.7微米的分辨率
　　*-->直线运动
　　*-->大倾斜角度提示持有人坐骑
　　*-->磁性反向基地
　　*-->左手