分辨率/重复为0.1/0.5μm时，可高达（1.1＋0.6L/600）μm.
　　确保垂直度（前部）达6μm，直线度达4μm.
　　全/半空气浮动系统可调节气垫高度。
　　带有基本统计功能，另外，通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑相连，可实现外部测量数据评估。
　　高度仪可半自动测量时具有单键操作功能。
　　通过Digimatic工具实现数据输入。