可加工尺寸　5英寸
　　基片台冷却水冷＋氦气背冷
　　可刻蚀材料硅基材料及金属
　　腔室尺寸　225mm谲350mm
　　真空系统　620L/S分子泵＋8L/S干泵
　　极限真空　5.0×10-4Pa
　　电源系统　13.56MHz、1000W射频电源，自动匹配、自动控制；13.56MHz、500W射频电源，自动匹配。　　压力控制　MKS压力控制系统、下游流量控制
　　气路　6路流量控制器，全自动控制、全自动现实并记录流量参数
　　控制系统一体化工业控制器
　　系统软件　ICP定制控制软件
　　报警及保护对电极缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并保护
　　我公司抄板实力雄厚，如有需要请致电我公司商务中心洽谈业务。