inficon四质谱仪
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残余气体分析仪(四极质谱仪) 

 

 

 

 

 

ToolCheck在真空诊断中是创新的概念,它桥接了真空计与RGAs之间的空隙。这台简易的高功能仪器用于监测真空系统,地辨别常规的残余气体,便于及时检测真空问题与快速消除故障。这台全内置的仪器可容易地连接任何真空室,内置程序和TCP/IP接口,用于控制ToolCheck和运行于系统控制器的标准网页浏览器查阅结果,无需外接计算机。简单的指令组易于写入用户特定的码,将ToolCheck集成于您的系统控制器。

 

 

 

 

 

Transpector 2的特点

 

 

·I100-,200-,和300-amu系统带法拉第杯或电子倍增器/法拉第杯的组合。

 

 

·改进的氢检测。

 

 

·与原始的Transpector相比讯噪比提高10倍

 

 

·快速扫描低值讯号

 

 

·个量级的电子学动态量程

 

 

·用于单传感器和多传感器系统的软件选件

 

 

·分压测量从1×10-4乇至2×10-14

 

 

    Transpector 2是基于四极场的智能传感器,全部传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器上的小型、轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器,具有相当的灵活性,您可以使用当前的计算机或从INFICON选购PC和软件包。两种通讯链接,RS232用于单传感器,RS485用于多传感器配置,将Transpector2连接控制计算机。简单的指令协议支配全部Transpector功能。

 

 

 

Transpwctor XPR3气体分析系统

   

Transpwctor XPR3进行工艺监测可为您提供有关污染程度、出气量值、气体纯度和设备运行的实时数据。

   这个信息有助于产量与产额的化,由于问题的及时监测与诊断而降低损耗,由于更有效地采取预防性维护程序,可提高设备的运行时间。

TRANSPECTOR XPR3的特点

·新设计的离子源使污染的产生小化,从而延长使用寿命 和提供更清楚的讯号。

·新型EM在PVD工艺压强下工作,提供更快速、清晰的数据收集和免除FC至EM的转换,简化数据的解译过程。

·新型加长的四极杆场可提高低质量范围的过滤能力,提高质谱仪分辨同位素的灵敏度,从而改善氢的监测灵敏度。

    Transpwctor XPR3是新一代的高压强四极场工艺气体分析仪。它研发于先前INFICON系统成功的基础上,在物理相汽沉积(PVD)检测中具有无比高的灵敏度、度和灵活性。一系列技术上的突破使轻便型Transpwctor XPR3的工作范围从20耗乇至超高真空,无需大型负责的压强转换设备。

TRANSPECTOR XPR3的应用

·PVD工艺模块

·预清洗模块

·Non-cluter PVD设备

·Clamped的除气模块