技术特点：
　　1.三轴有明显制动开关和手动旋扭，设计符合人体工学，操作更简单便捷。
　　2.双重被动减震，防止低频震动影响，极大的保证了机器测量的。
　　3.三轴全为高度精密花岗岩导轨，整体同比率变化。具有良好的温度稳定性和抗时效变形能力，刚性好、几何变形小。
　　4.四面全环抱式气浮轴承设计，运动更稳定，维护简单。
　　5.独特的气路系统，各轴多气压调节，的保证了机器运行的平稳和。
　　6.可增加CCD镜头为复合式三坐标，一机多用。
　　
　　测量范围 X 400 400/500 400/500
　　（mm）Y00
　　Z00
　　机器重量KG 400 430/480 500/560
　　承载KG 200 220/240 250/280
　　光栅分辨率 1um
　　测量um MPEe＝3＋L/250 MPEp＝3.5
　　空气消耗 25 L/min