适用领域：

　　氟油检漏设备是与氦质谱检漏仪配套使用的，针对半导体、电子元器件进行密封性、可靠性检漏的专用设备，能完成GJB548-96军用标准和GJBI128A-97国家标准中，对半导体器件零件进行氦加压精检漏和充高压氟油粗检漏要求。

　　结构组成：抽真空系统、加压系统、氟油检漏系统。

　　技术指标：

　　真空度≤100PA

　　充氦压力：0.2～1.0Mpa

　　指示液（F43）温度：125±5℃

　　保压时间：1～10h

　　加压系统可根据被检元器件尺寸设计。

　　产品规格：主要分为手动、半自动、全自动等。