非接触式三次元，型号：1200 X 1500 X 200MM
　　：XY轴定位3µm，全行程（5＋L/200）µm
　　Z轴定位5µm，全行程（5＋L/100）µm
　　
　　一、机构系统
　　1.悬臂式结构，00级花岗岩底座，确保机构不变形
　　2.工作平台采用高、低折射率工业专用光学玻璃
　　测量行程：X：1200MM Y：1500MM Z：200MM
　　平台承重：30KG
　　3.高、高稳定性日本THK直线导轨
　　导轨直线度：±2µm
　　XY轴移动速度：400mm/s；Z轴移动速度：100mm/s
　　XY轴加速度：800mm/s2；Z轴加速度：300mm/s2
　　4.高稳定、高、低噪音日本黑田滚珠丝杆，确保机器运行平稳
　　5.高抗扭性日本三木联轴器
　　6.玻璃固定治具，固定或压平软性工件（选配）
　　
　　二、电控系统
　　1.高稳定性日本Panasonic AC伺服马达/日本安川AC伺服马达（选配）
　　2.美国Galil四轴伺服控制卡
　　PCI总线
　　脉冲输出频率3MHz
　　四路编码器输入口，频率12MHz
　　8入8出I/O点
　　小伺服更新率（Servo loop update rate）
　　1、2轴：125微秒
　　3、4轴：250微秒
　　3.高分辨率、高稳定性英国RENISHAW封闭式光栅尺
　　光栅尺分辨率：1.0µm（选配）
　　4.雷赛ENC7480计数卡
　　32位PCI总线
　　4轴28位计数器，输入频率5MHz
　　
　　三、影像系统
　　1.日本Sony 1/3"CCD，768 X 494 PIXEL
　　2.美国Navitar 6.5：1全自动变倍镜头模块，Motor Zoom 6000
　　光学放大倍率：0.7-4.5X
　　影像放大倍率：22-145X/44-290X（加装2X物镜）
　　3.工业专用高速、高清晰SDK2000视频采集卡
　　分辨率：800 X 600 PIXEL；32位真彩色；60帧/秒
　　
　　四、适用行业
　　
　　背光模块TFT-LCD、TOUCH PANEL、电路板 PCB、精密冲压件、精密模具、精密塑料件、汽车配件、刀模、精密五金、手机配件、光罩网版、半导体封装等