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气体质量流量控制器(M3100)
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流量规格:25slpm--120slpm
:1%F.S(Full Scale)
重复:0.25%F.S(Full Scale)
响应时间:小于等于3sec(特殊要求时:小于等于1sec)
耐压:90bar
工作环境温度:0度--50度
输入输出信号:0--5v,4-20ma
供电:15v-30V
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