性能参数
　　型号  1010C  2010C  2017C  3017C
　　货号MF-A  176-662*  176-663*  176-664*  176-665*
　　货号MF-B  176-682*  176-683*  176-684*  176-685*
　　XY工作台行程范围  100*100mm  200*100mm  200*170mm  300*170mm
　　Z轴移动范围  150mm  150mm  220mm  220mm
　　调焦方式  手动调焦（粗调焦：30mm/rev.，微调焦：0.2mm/rev.）
　　测量方法  线性编码器（2轴型：X/Y轴，3轴型：X/Y/Z轴）
　　分辩率（可转换）  0.001mm/0.0005mm/0.0001mm
　　测量（20℃时）  XY轴：（2.5＋0.02L）um，L为无负载测量长度（mm），JISB7153
　　指示（20℃时）  Z轴：（5＋0.04L）um，L为测量长度（mm）
　　XY工作台台面尺寸  280*280mm  350*280mm  410*342mm  510*342mm
　　载物玻璃有效尺寸  180*180mm  250*150mm  270*240mm  370*240mm
　　旋转功能  —  —  ±5°（左）  ±5°（左）
　　台面承重  10kg  20kg  20kg  20kg
　　工件高度  150mm  150mm  220mm  220mm