产品概况:北京东方华测科学技术中心-专门针对硅片制造业、半导体行业-设计开发出高性价比的XHC-SV1型数码正置金相显微镜。选用优质的光学元件,配有超大视场目镜、透反射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、可选用微分干涉(DIC)观测;高清晰图像,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
1.采用了UICS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜成像技术。
2.拓展了物镜的复用技术,无限远物镜与所有观察法相兼容包括明暗视野法、偏光法,并在每一观察法中均提供高清晰的图像质量。
3.采用非球面Kohler照明,增加观察亮度。
4.WF10X(Φ25)超大视野目镜,长工作距离明暗场金相物镜。
5.可插DIC微分干涉装置的转换器。
技术规格:
数码金相显微镜型号 XHC-SV1
光学系统 UICS 无限远光学系统
光路设计透、反射光路设计
观测方式明/暗场观测、偏光观测、微分干涉(DIC)观测
观察头铰链式三目,30度倾斜,50mm-76mm
放大倍数 50X-1000X(可扩展至2000X)
目镜超宽场、超大视场目镜10×视场直径达到¢25mm
物镜平场、无限远长工作距离、明暗场金相物镜:(标配四个)
5×/0.1B.D/W.D.29.4mm 10×/0.25B.D/W.D.16mm
20×/0.4B.D/W.D.10.6mm 40×/0.6B.D/W.D.5.4mm
50×/0.55B.D/W.D.5.1mm 80×/0.75B.D/W.D.4mm
100×/0.80B.D/W.D.3mm
转换器带微分干涉(DIC)插口的四孔转换器
偏光装置检偏镜可360度转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路
滤光装置插板式滤色片(绿、蓝、中性)
聚光镜 NA1.25阿贝聚光镜带可变光栏和滤色片
数码系统 300万像素彩色CCD系统,实时视频输出、数码拍照、各种图像处理功能
图像软件可实现对显微图像的线宽、线距、角度、两点间距离、圆、平行线间距离、任意曲线长度任意多边形等的几何尺寸测量。可达±1μm.可拍摄数码照片进行分析、存储、研究等
调焦系统具有粗、微调同轴调节,行程40mm,微动格值0.002mm
载物台二维移动载物台,低位同轴手轮操作 X、Y移动范围:81mm×52mm;平台尺寸:190mm×162mm
照明系统落射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/50W,AC85V-230V,亮度可调节
透射照明:卤素灯12V/50W,AC85V-230V,亮度可调节
主要用途:
XHC-SV1型数码正置金相显微镜作为工业显微镜可进行明暗场观察、透反射、偏光、DIC观测,广泛应用于太阳能电池片、硅片制造业、半导体晶圆制造业、电子信息产业、治金工业;还应用于工厂、研究机构、高等院校等。
其他说明
数码金相显微镜型号 |
XHC-SV1 |
光学系统 |
UICS 无限远光学系统 |
光路设计 |
透,反射光路设计 |
观测方式 |
明/暗场观测,偏光观测,微分干涉(DIC)观测 |
观察头 |
铰链式三目,30度倾斜,50mm-76mm |
放大倍数 |
50X-1000X(可扩展至2000X) |
目镜 |
超宽场,超大视场目镜10* 视场直径达到¢25mm |
物镜 |
平场,无限远长工作距离,明暗场金相物镜:(标配四个)
5* /0.1B. D/W. D. 29.4mm 10* /0.25B. D/W. D. 16mm
20* /0.4B. D/W. D. 10.6mm 40* /0.6B. D/W. D. 5.4mm
50* /0.55B. D/W. D. 5.1mm 80* /0.75B. D/W. D. 4mm
100* /0.80B. D/W. D. 3mm |
转换器 |
带微分干涉(DIC)插口的四孔转换器 |
偏光装置 |
检偏镜可360度转动,起偏镜,检偏镜均可移出光路 |
滤光装置 |
插板式滤色片(绿,蓝,中性) |
聚光镜 |
NA1.25阿贝聚光镜带可变光栏和滤色片 |
数码系统 |
300万像素彩色CCD系统,实时视频输出,数码拍照,各种图像处理功能 |
图像软件 |
可实现对显微图像的线宽,线距,角度,两点间距离,圆,平行线间距离,任意曲线长度任意多边形等的几何尺寸测量.可达± 1μ m. 可拍摄数码照片进行分析,存储,研究等 |
调焦系统 |
具有粗,微调同轴调节,行程40mm,微动格值0.002mm |
载物台 |
二维移动载物台,低位同轴手轮操作 X,Y移动范围:81mm* 52mm;平台尺寸:190mm* 162mm |
照明系统 |
落射照明: 带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/50W,AC85V-230V, 亮度可调节
透射照明: 卤素灯12V/50W, AC85V-230V, 亮度可调节 |