滤光片
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滤光片是塑料或玻璃片再加入特种染料做成的,红色滤光片只能让红光通过,如此类推。玻璃片的折射率原本与空气差不多,所有色光都可以通过,所以是透明的,但是染了染料后,分子结构变化,折射率也发生变化,对某些色光的通过就有变化了。用来选取所需辐射波段的光学器件。分为两类:颜色滤光片,这是各种颜色的平板玻璃或明胶片,其透射带宽数百埃,多用在宽带测光或装在恒星摄谱仪中,以隔离重叠光谱级次。其主要特点是尺寸可做得相当大。薄膜滤光片,又分为薄膜吸收滤光片和薄膜干涉滤光片两种。前者是在特定材料片基上,用化学浸蚀使吸收线正好位于需要的波长处。一般透过的波长较长,多用做红外滤光片。后者是在一定片基上,用真空镀膜法交替形成具有一定厚度的高折射率或低折射率的金属-介质-金属膜,或全介质膜,构成一种低级次的、多级串联实心法布里-珀罗干涉仪。一种制作滤光片的方法,可增加一半导体晶片上的一滤光片附着力并避免光线的跨越干扰现象;该方法是先于该半导体晶片上形成一介电层以覆盖设于该半导体晶片上的MOS晶体管感测器;然后于该介电层上形成复数个金属层约略设置于各MOS晶体管感测器两侧上方;接着形成一保护层,并于该保护层上形成一滤光片,其两侧与下方的两该金属层约略对齐;之后依序于该保护层上形成一第二滤光片以及一第三滤光片且分别部分相叠于该滤光片的一侧;其中各滤光片相叠的部分可以提高各该滤光片的附着力,同时形成一光线阻障层,以避免光线的跨越干扰。