CX-200TA扫描电镜
价格:电议
地区:北京市
传 真:86-10-62391190
产品简介
大型样品室,分析型物镜,可同时接配EDS/WDS/EBSD,在观察精细形貌同时,做化学成分和晶体结构定性定量分析。五轴马达驱动样品台,高速涡轮分子泵真空系统,全部由酷塞目[COXEM]NanoStation计算机导航自动操作,轻松自如。
CX-200TA标配SE探测器,观察表面精细形貌形态;可选配BSE探测器,观察材料成分反差像,同时可扩展低真空观察模式,非导电样品可直接观察;可选配全套的X射线微区分析附件(EDS、WDS,EBSD)原位实现化学成分定性定量,及微区晶体结构定性定量分析;可选配+CCD样品室监控附件。
技术指标:
分辨率:
3.0nm(30kV,SEI)10nm(3KV,SEI)
4.0nm(30kV,BSEI)
放大倍数:10x~300,000x
加速电压 0.5kV~30kV
电子枪:三级自给偏压,偏压电阻可自动/手动调节,预对中发叉式钨丝阴极
样品室:内径φ210mm,可接配EDS,BSE,WDS EBSD等分析附件。
样品台及行程:计算机导航全自动机械对中样品台
X:65㎜,Y:40㎜,Z:5~65㎜,T:-20°~+90°,R:360°
真空系统:带安全防护的自动高真空系统,涡轮分子泵260升/秒+旋片式机械泵100L/min
真空度实时显示。
高真空:样品室处真空度优于7.5x10-5 Torr,
低真空:样品室 1-270Pa