束管真空抽气设备干式真空泵
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　　干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：
　　1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
　　2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
　　3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
　　4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
　　5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
　　二、分类：
　　干式真空泵主要有下列几种形式：
　　干式螺杆真空泵
　　无油往复真空泵
　　爪式真空泵
　　无油涡旋真空泵
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